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产品描述

  金融界2023年12月20日音讯,据国家知识产权局公告,姑苏敏芯微电子技术股份有限公司请求一项名为“微机电压力传感器及其制备办法“的专利,公开号CN117246972A,请求日期为2023年11月。

  专利摘要显现,本请求供给一种微机电压力传感器及其制备办法。该微机电压力传感器包括:榜首衬底和坐落其一侧的压敏感应组件,其间压敏感应组件包括压敏电阻;榜首介质层,位置于压敏感应组件远离榜首衬底的一侧,并内设有贯穿的空腔,该空腔在榜首衬底上的正投影掩盖压敏电阻在榜首衬底上的正投影;还有第二衬底,与榜首介质层键合衔接。本请求经过这样的结构设计,完成了微机电压力传感器封装尺度小、制造工序简略等长处。

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